深圳市瑞鸿宇科技有限公司是一家专业半导体高端智能装备平台,公司主要专注于半导体前端制备(其包括薄膜沉积、薄膜刻蚀、薄膜清洗,固化退火等)和后端设备(主要集中于材料表征,可靠性测试,耐气候测试等)的销售和技术服务。产品广泛应用于半导体,新能源锂电、太阳能光伏、柔性显示,光学镀膜、生物医疗等重要领域。公司依托强大的技术实力,致力为客户提供优质的技术服务和一体化解决方案。
半导体装备事业部
1. 光刻设备:光刻设备,涂胶设备,显影设备。
2. 刻蚀设备:等离子刻蚀机,湿法刻蚀机。
3. 离子注入设备:离子注入机,清洗机。
4. 薄膜沉积:
l 物理气相沉积(超高真空电子束蒸发系统,磁控溅射,分子束/激光分子束外延生长设备(MBE/Laser MBE)、脉冲激光沉积系统(PLD)、离子束溅射沉积系统(IBSD)
l 化学气相沉积:CVD,等离子体化学气相沉积(PECVD),金属有机化合物化学气相沉淀(MOCVD)
l 原子层沉积: 加热型原子层沉积(TALD),等离子体原子层沉积(PEALD)
5. 抛光设备(CMP)
6. 清洗设备:单片清洗机,多片清洗机,甩干机。
7. 其它设备:电镀和化镀设备,高温退火炉,尾气处理等(干式吸附,加热水洗,等离子清洗)
半导体封测及实验室分析测量事业部
1.通用电子仪器:(分立器件测试系统,动/静态测试系统,数字存储示波器,阻抗分析测试,网络分析测试,高精密电源,误码率测试仪,逻辑分析仪,协议分析仪,探针台等)
2.分析测试:
l 表面分析(EPMA,XPS,单晶衍射仪,表面张力仪,3D形貌仪,显微硬度计等)
l 电镜分析(TEM,SEM,电镜制样设备等)
l 电化学分析(红外光谱FTIR,拉曼/紫外可见Raman/UV-vis,色谱质谱,XRF,XRD,ICP-AES,原子吸收/荧光光谱,碳硫分析仪,激光粒度仪,热分析仪,SAT,X-RAY,FIB,金相显微镜等)
3.耐气候测试:高低温箱,烤箱,快速温变试验箱,冷热冲击试验箱,热流仪,高温老化箱,盐雾箱,沙尘箱,三综合测试台,步入式环境试验箱,氙灯老化箱等
合作全球知名品牌如:
Thermo Fisher Scientific、Oxford Instruments、Keysight Technologies、Tektronix、Scientific Test, Inc、Datacolor、ADVANTEST、R&S、inTEST、EDWARDS等
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